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●搬送部品の液切れを飛躍的に向上、液ダレを激減させます。
→高撥水性によるパーティクルの防止。
●ウエット式洗浄装置の冷却タンクの腐食防止。
→高耐食性による長寿命化。
●液切れを飛躍的に向上、残液を激減させます。
→高洗浄化によるクロスコンタミ防止。
●タンク・配管の金属イオン溶出を制御します。
→高純度ライニングによる金属汚染の防止。
●溶剤系レジストの時には、帯電防止グレードによる静電気帯電防止。
→火災防止・安全性向上。
●ハロゲン系ガスのウェット腐食を防止します。
高耐食性によるパーティクル防止。
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