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フラットパネルディスプレイ製造工程での剥離帯電防止コーティング 剥離による静電気帯電を長期にわたり抑制!しかもガラス基板をやさしく保護!
剥離帯電防止 コーティング編
(7:00)
FPD・半導体製造工程における静電気対策の決定打。その優秀性をご覧ください。
バキュームチャックプレートの剥離帯電防止シリーズ
NF-685B、NF-685、NF-718ECB
FPD製造では、ガラス基板サイズの大型化やデバイスの高精細化が進み、めざましい技術進歩を遂げています。 しかし、同時に静電気対策の重要性も増し、これまで以上の剥離帯電対策が必要不可欠なものとなっています。 日本フッソ工業の「剥離帯電防止コーティング」は、アルマイトなど従来のステージ表面処理に比較して大幅に剥離帯電発生量を抑止することができ、しかも非常に長寿命です。また、いち早く大型ステージにも対応するクリーンルーム内施工を実現。更に長年の経験と実績に培われた独自の施工技術の確立により「高品質」「高精度」「大型」ステージにも対応し、FPD製造工程の歩留向上に貢献します。
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