液晶製造装置 | フッ素樹脂コーティングの用途

こんなことでお困りでは
ありませんか？

フッ素樹脂コーティングが
解決する課題

・付着防止
・腐食防止
・高純度（対溶出）
・高純度（対パーティクル）
・帯電防止
・低摩擦
・絶縁

・反応
・ストック
・乾燥
・移送
・混合
・吸収・吸着
・分離・濾過
・計量
・塗布
・半導体製造装置
・液晶製造装置
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液晶製造装置

剥離帯電（静電気）防止

ご採用のメリット

◎	ガラス基板との相関作用が小さくなり、剥離による静電気の発生量を抑制し、コーティング皮膜への帯電も防止
◎	リフトアップ時間（タクトタイム）を短縮
◎	アライメント性能向上
◎	長時間使用でも帯電問題が発生しない（長寿命）

液晶用ステージ

液晶ガラス基板などを搬送する際に発生する剥離帯電を防止します。

フッ素樹脂コーティングなら日本フッソ工業にお任せください！

東京	大阪（本社）
TEL.03-3688-3237	TEL.072-361-3391

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