2003.07.02

バキュームチャックプレート［ＦＰＤ・カラ−フィルタ−製造工程］の
剥離帯電防止コ−ティングを開発―NF-685Ｂ

剥離による静電気帯電を長期にわたり抑制！しかもガラス基板をやさしく保護。

グラフはＦＰＤ製造工程にて一般的に使用されているアルマイトコーティングのチャックと、ＮＦ−６８５Ｂコーティング品との経時変化を比較した現場データです。
アルマイトコーティング品も初期は帯電量が少ないですが、やがて急激にガラス基板を帯電させてしまうようになります。ＮＦ−６８５Ｂコーティング品は、アルマイト品が交換時期になっても全く性能が落ちていません。

 

■特徴
　1.特殊なフッ素樹脂コーティングです。
　2.吸着エネルギーが低く、非粘着性に優れ、摩擦係数が低いため、ガラス基板との相関作用が小さくなり、
　　剥離による静電気の発生量を抑制します。
　3.導電性コーティングなので、コーティング自身が帯電することはなく、ガラス基板へ悪影響を与えることがありません。
　4.ガラス基板からのＳｉＯ2粒子付着を低減します。
　5.フッ素樹脂の柔らかさが、ガラス基板をやさしく守ります。
　6.長期間使用でもＥＳＤ問題が発生せず、長寿命です。
　7.現在ご使用のプレートにも施工可能です。

　2003年ADY製造装置部門優秀賞受賞